способы получения биметаллов литьем

Есть и другие недостатки у известных техни]ческих решений. Например, то, что, что они не содержит специальных технологических операций по переработке материала отработанных мишеней и использованию его для формирования новых образцов, пригодных к применению в технологии осаждения тонких пленок, что в свою очередь позволяет осуществлять намного эффективней и быстрей. Более того, формируемые образцы имеют ненужную высокую пористость, что обусловлено отн

Известен также способ получения распыляемых мишеней, в соответствии с которым осуществляют горячее прессование мишени из окислов индия и олова. Однако метод горячего прессования, по мнению авторов, является энергоемким, дорого]стоящим процессом, требует уникального оборудо]вания и специальной дефицитной и дорогостоящей оснастки.

Известен способ получения распыляемых ми]шеней путем формирования их вакуумным литьем. Недостатком данного способа является то, что со]став мишени (чистые металлы) не соответствует составу получаемой пленки (окислы металлов), и для формирования в пленках необходимой оксид]ной фазы требуется проведение дополнительных технологических операций.

PСпособ получения распыляемой мишени для осаждения тонких пленок изобретен в Государствен]ном научном учреждении «Институт порошковой ме]таллургии» (патент Республики Беларусь 10821, МПК: H01L21/00; B22F3/08; авторы: С. Барай, А. Гулай, А. Ильющенко, А. Шевченок). Изобретение может быть использовано в технологиях получения материалов для изготовления микроэлектронныхPP приборов и микроэлектромеханических систем, в частности в формирования распыляе]мых мишеней для осаждения тонких пленок.

Экономия дорогостоящих материалов | Изобретатель